已解決mems溫度傳感器的分類有哪些？

MEMS傳感器分類：
1、 微機械壓力傳感器 微機械壓力傳感器是最早開始研製的微機械產品，也是微機械技術中最成熟、最早開始產業化的產品。從信號檢測方式來看，微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類。從敏感膜結構來看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結構。現階段微機械壓力傳感器的主要發展方向有以下幾個方麵。
(1)將敏感元件與信號處理、校準、補償、微控製器等進行單片集成，研製智能化的 壓力傳感器。
(2)進一步提高壓力傳感器的靈敏度，實現低量程的微壓傳感器。
(3)提高工作溫度，研製高低溫壓力傳感器。
(4)開發諧振式壓力傳感器。
2、 微加速度傳感器 矽微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之後第二個進入市場的微機械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。
3、 微機械陀螺 角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環結構，懸臂梁結構、音叉結構、振動環結構等。
4、 微流量傳感器 微流量傳感器不僅外形尺寸小，能達到很低的測量量級，而且死區容量小，響應時間短，適合於微流體的精密測量和控製。 目前國內外研究的微流量傳感器依據工作原理可分為熱式（包括熱傳導式和熱飛行時間式）、機械式和諧振式3種。
5、 微氣體傳感器